启天科技扩散石英舟上下料机

 扩散石英舟上下料机   型号:qt-100h-syzd

概述：

●应用领域：qt-100h-syzd应用于将扩散后石英舟内的背靠背硅片导出并两两分开，然后分别入塑料硅片承载盒中，同时将未扩散的硅片从塑料硅片承载盒中取出，然后背靠背叠加放入石英舟内，每一槽放两片，待扩散面朝外。

●设备特点：

上下料一体化设计节约了工人搬运石英舟及塑料硅片承载盒的劳动强度，篮具在上下料的过程中紧凑相连，循环利用，提高整机的工作效率。

所有入篮以及入石英舟结构均采用耐磨耐高温自润滑结构稳定之材料导向，高精密叉子托附，依靠硅片自身重力入篮或者入舟，大大降低了碎片率以及对载具的高精度要求。

机器相关重要环节引入视觉定位系统，一旦运转偏离位置，机器自动补偿矫正，既提高了稳定性，又提升了速度。

所有真空吸盘及硅片矫正叉均采用一次加工成型结构，减少组装带来的累计误差，由于高精度的结构相对提高运行速度而不带来碎片率的提升。